浅谈气体钢瓶

气源一般分为气体钢瓶和气体发生器两种形式：

气体钢瓶种类齐全，纯度从工业级到高纯度都可购买得到，而且气体输出稳定、压力波动

小。因为高压气体钢瓶的这些特点，所以其特别适用于以下几种情况：1）气体纯度要求很高

（99.999%及以上） ；2）要求气体压力波动很小的情况；3）气体无法通过气体发生器制取的情

况；4）气体使用量特别大的情况，使用气体发生器很难提供稳定的气体流量和压力；5）比较

容易购买到高压钢瓶气体时，使用成本比气体发生器低。

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